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電化學(xué)加工(宏微二級驅(qū)動)工作臺(博實(shí))
產(chǎn)品編碼:019
折 扣 率: 0
最后更新:2014-08-28
關(guān) 注 度:4680
生產(chǎn)企業(yè):哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實(shí)精密測控有限責(zé)任公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
電化學(xué)加工(宏微二級驅(qū)動)工作臺主要應(yīng)用于電化學(xué)加工方面,具有X-Y-Z方向三維宏動和X-Y-Z方向三維微動。宏動平臺采用步進(jìn)電機(jī)結(jié)合高品質(zhì)滾珠絲桿。微動平臺由三臺壓電陶瓷致動器驅(qū)動的一維納米級精密定位工作臺MPT-1JRL003通過連接板組合而成。
  在驅(qū)動中,首先采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的大行程、低分辨率的機(jī)構(gòu)進(jìn)行粗定位,實(shí)現(xiàn)大行程范圍內(nèi)快速地微米級定位精度,然后采用壓電陶瓷驅(qū)動小行程、高分辨率的微動工作臺在微米級行程范圍實(shí)現(xiàn)對粗定位平臺的納米級誤差補(bǔ)償。  
哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實(shí)精密測控有限責(zé)任公司
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