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納米級精密定位臺(微位移平臺 可定制構型)
折 扣 率: 0
最后更新:2018-04-17
關 注 度:3962
生產(chǎn)企業(yè):蘇州邁客榮自動化技術有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹
  主要產(chǎn)品系列:一維直驅式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺、一維U式物鏡臺、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯(lián)式、六維并聯(lián)式。
  納米級精密定位工作臺以壓電陶瓷致動器為核心驅動元件,通過柔性鉸鏈機構進行無間隙的微位移傳動,運動范圍在幾十微米到幾百微米,運動分辨率和重復定位精度在納米級。主要應用于精密進給系統(tǒng)、精密位移補償、精微操作、MEMS技術、生物工程、細胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學調整、電化學加工等領域。

  主要特點:
  采用壓電陶瓷驅動;
  納米級位移分辨率;
  重復定位精度高;
  優(yōu)良的頻率響應特性;
  采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設計動結構;
  可內置電阻應變片式微位移傳感器,方便實現(xiàn)閉環(huán)控制;
  機體材料可選擇鋁合金、Invar合金等,適用于不同的應用場合;
  采用電火花、線切割等加工工藝,以嚴格保證加工精度;
  采用先進的表面處理工藝,提高了適應不同工作環(huán)境的能力;
  運動自由度從一維到六維,行程10~400微米,形成多系列產(chǎn)品。
蘇州邁客榮自動化技術有限公司
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